眾所周知，熱退火在工業(yè)上制造機(jī)械，詳細(xì)必定的重要性，許多大廠都很在意安全出產(chǎn)這塊的，畢竟是一個(gè)高溫情況下出產(chǎn)產(chǎn)品的區(qū)域，今天我們就來說說這方面的相關(guān)事宜。
熱退火工藝提供了一種用于加工基材的辦法，所述辦法包含：提供具有外表的基材;提供共聚物組合物，所述共聚物組合物包含：聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分,其間聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分的數(shù)均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化劑，其間共聚物組合物包含>2wt%的抗氧化劑，基于嵌段共聚物組分的分量 ;施加上述共聚物組合物的薄膜到基材外表;任選地，烘焙上述薄膜;通過在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的氣體氣氛下加熱薄膜1秒鐘到4小時(shí)來退火上述薄膜;處理上述退火薄膜以從退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和將退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段轉(zhuǎn)換成SiOx。
作為一種新式的光刻技能越來越受到人們的重視
在定向自拼裝中的使用：近兩年來，嵌段共聚物定向自拼裝( DSA， Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技能作為一種新式的光刻技能越來越受到人們的重視。其原理與之前所敘說的幾種技能有很大不同，是利用嵌段共聚物在熱退火或溶劑退火等條件下分相形成納米結(jié)構(gòu)，以形成的納米結(jié)構(gòu)作為模板對(duì)襯底進(jìn)行刻蝕完成圖形化的一種技能。
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